صاف ڪمري ۾ هوائي وهڪري جي تنظيم جا متاثر ڪندڙ عنصر ڪهڙا آهن؟

چپ ٺاهڻ واري صنعت ۾ چپ جي پيداوار چپ تي جمع ٿيل هوا جي ذرڙن جي سائيز ۽ تعداد سان ويجهڙائي سان لاڳاپيل آهي. سٺي هوا جي وهڪري جي تنظيم مٽي جي ذريعن مان پيدا ٿيندڙ ذرات کي صاف ڪمري کان پري وٺي سگهي ٿي ۽ صاف ڪمري جي صفائي کي يقيني بڻائي سگهي ٿي. يعني، صاف ڪمري ۾ هوا جي وهڪري جي تنظيم چپ جي پيداوار جي پيداوار ۾ اهم ڪردار ادا ڪري ٿي. صاف ڪمري جي هوا جي وهڪري جي تنظيم جي ڊيزائن ۾ حاصل ڪرڻ جا مقصد آهن: نقصانڪار ذرات کي برقرار رکڻ کان بچڻ لاءِ وهڪري جي ميدان ۾ ايڊي ڪرنٽ کي گهٽائڻ يا ختم ڪرڻ؛ ڪراس آلودگي کي روڪڻ لاءِ مناسب مثبت دٻاءُ جي گريڊينٽ کي برقرار رکڻ.

صاف ڪمري جي اصول موجب، ذرڙن تي عمل ڪندڙ قوتن ۾ ماس فورس، ماليڪيولر فورس، ذرڙن جي وچ ۾ ڪشش، هوا جي وهڪري جي قوت وغيره شامل آهن.

هوا جي وهڪري جي قوت: هوا جي وهڪري جي قوت کي ظاهر ڪري ٿو جيڪا سپلائي ۽ ريٽرن ايئر فلو، تھرمل ڪنوڪشن ايئر فلو، مصنوعي حرڪت، ۽ ٻين ايئر فلو جي ڪري ٿئي ٿي جيڪا ذرات کي کڻڻ لاءِ هڪ خاص وهڪري جي شرح سان آهي. صاف ڪمري جي ماحولياتي ٽيڪنالاجي ڪنٽرول لاءِ، هوا جي وهڪري جي قوت سڀ کان اهم عنصر آهي.

تجربن مان ظاهر ٿيو آهي ته هوا جي وهڪري ۾، ذرڙا تقريبن ساڳئي رفتار سان هوا جي وهڪري جي پيروي ڪندا آهن. هوا ۾ ذرڙن جي حالت هوا جي وهڪري جي ورڇ جي ذريعي طئي ڪئي ويندي آهي. اندروني ذرڙن تي هوا جي وهڪري جا مکيه اثر شامل آهن: هوا جي فراهمي جو هوائي وهڪرو (بشمول بنيادي هوائي وهڪرو ۽ ثانوي هوائي وهڪرو)، ماڻهن جي هلڻ جي ڪري هوا جو وهڪرو ۽ حرارتي ڪنوڪشن هوائي وهڪرو، ۽ عمل جي عملن ۽ صنعتي سامان جي ڪري ذرڙن تي هوا جو اثر. مختلف هوائي فراهمي جا طريقا، رفتار انٽرفيس، آپريٽر ۽ صنعتي سامان، متاثر ٿيل رجحان، وغيره صاف ڪمرن ۾ اهي سڀئي عنصر آهن جيڪي صفائي جي سطح کي متاثر ڪن ٿا.

1. هوا جي فراهمي جي طريقي جو اثر

(1) هوا جي فراهمي جي رفتار

هوا جي وهڪري کي هڪجهڙو ڪرڻ لاءِ، هڪ طرفي وهڪري واري صاف ڪمري ۾ هوا جي فراهمي جي رفتار هڪجهڙي هجڻ گهرجي؛ هوا جي فراهمي جي مٿاڇري تي ڊيڊ زون ننڍو هجڻ گهرجي؛ ۽ هيپا فلٽر اندر دٻاءُ جي گهٽتائي پڻ هڪجهڙي هجڻ گهرجي.

هوا جي فراهمي جي رفتار هڪجهڙي آهي: يعني، هوا جي وهڪري جي اڻ برابري کي ±20٪ اندر ڪنٽرول ڪيو ويندو آهي.

هوا جي فراهمي جي مٿاڇري تي گهٽ مئل جاءِ آهي: نه رڳو هيپا فريم جي جهاز جي ايراضي کي گهٽائڻ گهرجي، پر وڌيڪ اهم ڳالهه اها آهي ته، بيڪار فريم کي آسان بڻائڻ لاءِ ماڊيولر FFU استعمال ڪيو وڃي.

هوا جي وهڪري کي عمودي ۽ هڪ طرفي طور تي يقيني بڻائڻ لاءِ، فلٽر جي پريشر ڊراپ جي چونڊ پڻ تمام ضروري آهي، ۽ اهو ضروري آهي ته فلٽر اندر دٻاءُ جي نقصان کي جانبدار نه ڪيو وڃي.

(2) FFU سسٽم ۽ محوري وهڪري فين سسٽم جي وچ ۾ مقابلو

FFU هڪ هوائي فراهمي يونٽ آهي جنهن ۾ هڪ فين ۽ هيپا فلٽر هوندو آهي. FFU جي سينٽرفيوگل فين ذريعي هوا کي اندر ڇڪيو ويندو آهي ۽ هوا جي نلڪي ۾ متحرڪ دٻاءُ کي جامد دٻاءُ ۾ تبديل ڪندو آهي. هيپا فلٽر ذريعي هڪجهڙائي سان ٻاهر ڪڍيو ويندو آهي. ڇت تي هوا جي فراهمي جو دٻاءُ منفي دٻاءُ هوندو آهي. انهي طريقي سان فلٽر کي تبديل ڪرڻ وقت صاف ڪمري ۾ ڪا به مٽي نه نڪرندي. تجربن مان ظاهر ٿيو آهي ته FFU سسٽم هوا جي آئوٽليٽ جي هڪجهڙائي، هوا جي وهڪري جي متوازي ۽ وينٽيليشن ڪارڪردگي انڊيڪس جي لحاظ کان محوري وهڪري جي پرستار نظام کان بهتر آهي. اهو ئي سبب آهي ته FFU سسٽم جي هوا جي وهڪري جي متوازي بهتر آهي. FFU سسٽم جو استعمال صاف ڪمري ۾ هوا جي وهڪري جي تنظيم کي بهتر بڻائي سگهي ٿو.

(3) ايف ايف يو جي پنهنجي جوڙجڪ جو اثر

FFU بنيادي طور تي پنکھن، فلٽرن، هوا جي وهڪري جي رهنمائي ۽ ٻين حصن تي مشتمل آهي. هيپا فلٽر صاف ڪمري لاءِ سڀ کان اهم ضمانت آهي ته جيئن ڊيزائن جي گهربل صفائي حاصل ڪري سگهجي. فلٽر جو مواد پڻ وهڪري جي ميدان جي هڪجهڙائي کي متاثر ڪندو. جڏهن فلٽر آئوٽ ليٽ ۾ ڪو رف فلٽر مواد يا فلو پليٽ شامل ڪئي ويندي آهي، ته آئوٽ ليٽ فلو فيلڊ کي آساني سان هڪجهڙائي بڻائي سگهجي ٿو.

2. مختلف صفائي سان رفتار انٽرفيس جو اثر

ساڳئي صاف ڪمري ۾، ڪم ڪندڙ علائقي ۽ غير ڪم ڪندڙ علائقي جي وچ ۾ عمودي هڪ طرفي وهڪري سان، هيپا باڪس تي هوا جي رفتار ۾ فرق جي ڪري، انٽرفيس تي هڪ مخلوط وورٽيڪس اثر ٿيندو، ۽ هي انٽرفيس هڪ انتشار واري هوا جي وهڪري جو علائقو بڻجي ويندو. هوا جي ڦيرڦار جي شدت خاص طور تي مضبوط آهي، ۽ ذرات سامان جي مشين جي مٿاڇري تي منتقل ٿي سگهن ٿا ۽ سامان ۽ ويفرز کي آلوده ڪري سگهن ٿا.

3. عملي ۽ سامان تي اثر

جڏهن صاف ڪمرو خالي هوندو آهي، ته ڪمري ۾ هوا جي وهڪري جون خاصيتون عام طور تي ڊيزائن جي گهرجن کي پورو ڪنديون آهن. هڪ ڀيرو سامان صاف ڪمري ۾ داخل ٿئي ٿو، ماڻهو منتقل ٿين ٿا، ۽ شيون منتقل ڪيون وڃن ٿيون، ته هوا جي وهڪري جي تنظيم ۾ ناگزير طور تي رڪاوٽون هونديون آهن، جهڙوڪ سامان جي مشين مان نڪرندڙ تيز نقطا. ڪنڊن يا ڪنارن تي، گئس هڪ انتشار واري وهڪري واري علائقي کي ٺاهڻ لاءِ موڙي ويندي، ۽ علائقي ۾ موجود سيال ايندڙ گئس ذريعي آساني سان نه کڻي ويندو، ان ڪري آلودگي پيدا ٿيندي.

ساڳئي وقت، مسلسل آپريشن جي ڪري مشيني سامان جي مٿاڇري گرم ٿي ويندي، ۽ گرمي پد جي ڪري مشين جي ويجهو هڪ ريفلو ايريا پيدا ٿيندو، جيڪو ريفلو ايريا ۾ ذرڙن جي جمع کي وڌائيندو. ساڳئي وقت، وڌيڪ گرمي پد آساني سان ذرات کي فرار ٿيڻ جو سبب بڻجندو. ٻٽي اثر مجموعي عمودي پرت کي تيز ڪري ٿو. وهڪري جي صفائي کي ڪنٽرول ڪرڻ ۾ مشڪل. صاف ڪمري ۾ آپريٽرن کان مٽي آساني سان انهن ريفلو ايريا ۾ ويفرز سان چپڪي سگهي ٿي.

4. واپسي واري هوائي فرش جو اثر

جڏهن فرش مان گذرندڙ واپسي هوا جي مزاحمت مختلف هوندي، ته دٻاءُ ۾ فرق ٿيندو، جنهن جي ڪري هوا ننڍي مزاحمت جي طرف وهندي، ۽ هڪجهڙي هوا جو وهڪرو حاصل نه ٿيندو. موجوده مشهور ڊيزائن جو طريقو بلند فرش استعمال ڪرڻ آهي. جڏهن بلند فرش جو افتتاحي تناسب 10٪ تي هوندو آهي، ته هوا جي وهڪري جي رفتار کي اندروني ڪم ڪندڙ اوچائي تي برابر ورهائي سگهجي ٿو. ان کان علاوه، فرش تي آلودگي جي ذريعن کي گهٽائڻ لاءِ صفائي جي ڪم تي سخت ڌيان ڏيڻ گهرجي.

5. انڊڪشن رجحان

نام نهاد انڊڪشن رجحان هڪجهڙائي واري وهڪري جي مخالف طرف هوا جي وهڪري پيدا ڪرڻ جي رجحان کي ظاهر ڪري ٿو، ڪمري ۾ پيدا ٿيندڙ مٽي يا ڀرسان آلوده علائقن ۾ مٽي کي مٿي هوا واري پاسي ڏانهن آڻيندو آهي، جنهن جي ڪري مٽي ويفر کي آلوده ڪري ٿي. ممڪن متاثر ٿيندڙ رجحان ۾ هيٺيان شامل آهن:

(1) انڌي پليٽ

هڪ صاف ڪمري ۾ عمودي هڪ طرفي وهڪري سان، ڀت تي جوڑوں جي ڪري، عام طور تي وڏا بلائنڊ پينل هوندا آهن جيڪي تيز وهڪري ۽ مقامي بيڪ فلو پيدا ڪندا.

(2) ليمپ

صاف ڪمري ۾ روشني جي سامان جو وڌيڪ اثر پوندو. جيئن ته فلوروسينٽ ليمپ جي گرمي هوا جي وهڪري کي وڌائڻ جو سبب بڻجندي آهي، فلوروسينٽ ليمپ هڪ انتشار واري علائقي ۾ نه بڻجي ويندو. عام طور تي، صاف ڪمري ۾ ليمپ آنسو جي شڪل ۾ ٺهيل آهن ته جيئن هوا جي وهڪري جي تنظيم تي ليمپ جي اثر کي گهٽائي سگهجي.

(3) ڀتين جي وچ ۾ خال

جڏهن ورهاڱي جي ڀتين يا ڇت جي وچ ۾ مختلف صفائي جي گهرجن سان خال هوندا آهن، ته گهٽ صفائي جي گهرجن وارن علائقن مان مٽي کي اعليٰ صفائي جي گهرجن سان ڀرپاسي وارن علائقن ڏانهن منتقل ڪري سگهجي ٿو.

(4) مشينري سامان ۽ فرش يا ڀت جي وچ ۾ فاصلو

جيڪڏهن مشيني سامان ۽ فرش يا ڀت جي وچ ۾ خال ننڍو آهي، ته ريبائونڊ ٽربولنس ٿيندي. تنهن ڪري، سامان ۽ ڀت جي وچ ۾ هڪ خال ڇڏيو ۽ مشين پليٽ فارم کي مٿي ڪريو ته جيئن زمين سان سڌو رابطو نه ٿئي.