صاف ڪمري ۾ هوائي وهڪري جي تنظيم کي متاثر ڪندڙ عنصر ڪهڙا آهن؟

آئي سي ٺاهڻ واري صنعت ۾ چپ جي پيداوار جي شرح چپ تي جمع ٿيل هوا جي ذرڙن جي سائيز ۽ تعداد سان ويجهڙائي سان لاڳاپيل آهي. هڪ سٺي هوا جي وهڪري جي تنظيم مٽي جي ذريعن مان پيدا ٿيندڙ ذرات کي صاف ڪمري کان پري وٺي سگهي ٿي ته جيئن صاف ڪمري جي صفائي کي يقيني بڻائي سگهجي، يعني، صاف ڪمري ۾ هوا جي وهڪري جي تنظيم آئي سي جي پيداوار جي پيداوار جي شرح ۾ اهم ڪردار ادا ڪري ٿي. صاف ڪمري ۾ هوا جي وهڪري جي تنظيم جي ڊيزائن کي هيٺيان مقصد حاصل ڪرڻ جي ضرورت آهي: نقصانڪار ذرات جي برقرار رکڻ کان بچڻ لاءِ وهڪري جي ميدان ۾ ايڊي ڪرنٽ کي گهٽائڻ يا ختم ڪرڻ؛ ڪراس آلودگي کي روڪڻ لاءِ مناسب مثبت دٻاءُ جي گريڊينٽ برقرار رکڻ.

هوا جي وهڪري جي قوت

صاف ڪمري جي اصول موجب، ذرڙن تي عمل ڪندڙ قوتن ۾ ماس فورس، ماليڪيولر فورس، ذرڙن جي وچ ۾ ڪشش، هوا جي وهڪري جي قوت وغيره شامل آهن.

هوا جي وهڪري جي قوت: هوا جي وهڪري جي قوت کي ظاهر ڪري ٿو جيڪا ترسيل، واپسي هوا جي وهڪري، حرارتي ڪنوڪشن هوا جي وهڪري، مصنوعي حرڪت، ۽ ٻين هوا جي وهڪري جي ڪري ٿئي ٿي جيڪا ذرات کي کڻڻ لاءِ هڪ خاص وهڪري جي شرح سان هوندي آهي. صاف ڪمري جي ماحول جي ٽيڪنيڪل ڪنٽرول لاءِ، هوا جي وهڪري جي قوت سڀ کان اهم عنصر آهي.

تجربن مان ظاهر ٿيو آهي ته هوا جي وهڪري جي حرڪت ۾، ذرڙا تقريبن ساڳئي رفتار سان هوا جي وهڪري جي حرڪت جي پيروي ڪندا آهن. هوا ۾ ذرڙن جي حالت هوا جي وهڪري جي ورڇ جي ذريعي طئي ڪئي ويندي آهي. اندروني ذرڙن کي متاثر ڪندڙ هوائي وهڪري ۾ بنيادي طور تي شامل آهن: هوا جي فراهمي وارو هوائي وهڪرو (بشمول بنيادي هوائي وهڪرو ۽ ثانوي هوائي وهڪرو)، ماڻهن جي هلڻ جي ڪري هوا جو وهڪرو ۽ حرارتي ڪنوڪشن هوائي وهڪرو، ۽ عمل جي آپريشن ۽ صنعتي سامان جي ڪري هوا جو وهڪرو. مختلف هوائي فراهمي جا طريقا، رفتار انٽرفيس، آپريٽر ۽ صنعتي سامان، ۽ صاف ڪمرن ۾ متاثر ٿيل رجحان اهي سڀ عنصر آهن جيڪي صفائي جي سطح کي متاثر ڪن ٿا.

هوا جي وهڪري جي تنظيم کي متاثر ڪندڙ عنصر

1. هوا جي فراهمي جي طريقي جو اثر

(1). هوا جي فراهمي جي رفتار

هڪجهڙي هوا جي وهڪري کي يقيني بڻائڻ لاءِ، هڪ طرفي صاف ڪمري ۾ هوا جي فراهمي جي رفتار هڪجهڙي هجڻ گهرجي؛ هوا جي فراهمي جي مٿاڇري جو ڊيڊ زون ننڍو هجڻ گهرجي؛ ۽ ULPA ۾ دٻاءُ جي گهٽتائي پڻ هڪجهڙي هجڻ گهرجي.

هڪجهڙي هوا جي فراهمي جي رفتار: يعني، هوا جي وهڪري جي اڻ برابري کي ±20٪ اندر ڪنٽرول ڪيو ويندو آهي.

هوا جي فراهمي جي مٿاڇري تي گهٽ ڊيڊ زون: نه رڳو ULPA فريم جي جهاز واري علائقي کي گهٽائڻ گهرجي، پر وڌيڪ اهم طور تي، بيڪار فريم کي آسان بڻائڻ لاءِ ماڊيولر FFU کي اختيار ڪيو وڃي.

عمودي هڪ طرفي هوا جي وهڪري کي يقيني بڻائڻ لاءِ، فلٽر جي پريشر ڊراپ جي چونڊ پڻ تمام ضروري آهي، جنهن جي ضرورت آهي ته فلٽر ۾ دٻاءُ جو نقصان انحراف نه ڪري سگهي.

(2). ايف ايف يو سسٽم ۽ محوري وهڪري فين سسٽم جي وچ ۾ مقابلو

FFU هڪ هوائي فراهمي يونٽ آهي جنهن ۾ هڪ فين ۽ هڪ فلٽر (ULPA) آهي. FFU جي سينٽرفيوگل فين ذريعي هوا کي اندر ڇڪڻ کان پوءِ، متحرڪ دٻاءُ ايئر ڊڪٽ ۾ جامد دٻاءُ ۾ تبديل ٿي ويندو آهي ۽ ULPA ذريعي هڪجهڙائي سان ٻاهر ڪڍيو ويندو آهي. ڇت تي هوا جي فراهمي جو دٻاءُ منفي دٻاءُ آهي، تنهن ڪري فلٽر کي تبديل ڪرڻ تي صاف ڪمري ۾ ڪا به مٽي نه نڪرندي. تجربن مان ظاهر ٿيو آهي ته FFU سسٽم هوا جي آئوٽليٽ جي هڪجهڙائي، هوا جي وهڪري جي متوازي ۽ وينٽيليشن ڪارڪردگي انڊيڪس جي لحاظ کان محوري وهڪري جي پرستار نظام کان بهتر آهي. اهو ئي سبب آهي ته FFU سسٽم جي هوا جي وهڪري جي متوازي بهتر آهي. FFU سسٽم جو استعمال صاف ڪمري ۾ هوا جي وهڪري کي بهتر طور تي منظم ڪري سگهي ٿو.

(3). ايف ايف يو جي پنهنجي جوڙجڪ جو اثر

FFU بنيادي طور تي پنن، فلٽرن، ايئر فلو گائيڊ ڊوائيسز ۽ ٻين حصن تي مشتمل آهي. الٽرا هاءِ ايفيشنسي فلٽر ULPA سڀ کان اهم ضمانت آهي ته ڇا صاف ڪمرو ڊيزائن جي گهربل صفائي حاصل ڪري سگهي ٿو. فلٽر جو مواد پڻ وهڪري جي ميدان جي هڪجهڙائي کي متاثر ڪندو. جڏهن هڪ ٿلهو فلٽر مواد يا هڪ ليمينر فلو پليٽ فلٽر آئوٽليٽ ۾ شامل ڪيو ويندو آهي، ته آئوٽليٽ فلو فيلڊ کي آساني سان هڪجهڙائي بڻائي سگهجي ٿو.

2. صفائي جي مختلف اسپيڊ انٽرفيس جو اثر

ساڳئي صاف ڪمري ۾، عمودي هڪ طرفي وهڪري جي ڪم ڪندڙ علائقي ۽ غير ڪم ڪندڙ علائقي جي وچ ۾، ULPA آئوٽ ليٽ تي هوا جي رفتار ۾ فرق جي ڪري، انٽرفيس تي هڪ مخلوط وورٽيڪس اثر پيدا ٿيندو، ۽ هي انٽرفيس خاص طور تي تيز هوا جي طوفان جي شدت سان هڪ طوفاني هوا جي وهڪري جو علائقو بڻجي ويندو. ذرات سامان جي مٿاڇري تي منتقل ٿي سگهن ٿا ۽ سامان ۽ ويفرز کي آلوده ڪري سگهن ٿا.

3. عملي ۽ سامان جو اثر

جڏهن صاف ڪمرو خالي هوندو آهي، ته ڪمري ۾ هوا جي وهڪري جون خاصيتون عام طور تي ڊيزائن جي گهرجن کي پورو ڪنديون آهن. هڪ ڀيرو سامان صاف ڪمري ۾ داخل ٿئي ٿو، عملو منتقل ٿئي ٿو ۽ شيون منتقل ٿين ٿيون، ته پوءِ هوا جي وهڪري جي تنظيم ۾ رڪاوٽون ناگزير طور تي پيدا ٿينديون. مثال طور، سامان جي ٻاهر نڪرندڙ ڪنڊن يا ڪنارن تي، گئس کي هڪ انتشار واري علائقي ڏانهن موڙيو ويندو، ۽ زون ۾ موجود سيال گئس ذريعي آساني سان نه کڻي ويندو، جنهن ڪري آلودگي پيدا ٿيندي. ساڳئي وقت، مسلسل آپريشن جي ڪري سامان جي مٿاڇري گرم ٿي ويندي، ۽ گرمي پد جي ڪري مشين جي ويجهو هڪ ريفلو زون پيدا ٿيندو، جيڪو ريفلو زون ۾ ذرڙن جي جمع کي وڌائيندو. ساڳئي وقت، تيز گرمي پد آساني سان ذرات کي فرار ٿيڻ جو سبب بڻجندو. ٻٽي اثر مجموعي عمودي ليمينار صفائي کي ڪنٽرول ڪرڻ جي مشڪل کي وڌائي ٿو. صاف ڪمري ۾ آپريٽرن مان مٽي انهن ريفلو زونن ۾ ويفرز سان لڳڻ تمام آسان آهي.

4. واپسي واري هوائي فرش جو اثر

جڏهن فرش مان گذرندڙ واپسي هوا جي مزاحمت مختلف هوندي، ته دٻاءُ ۾ فرق پيدا ٿيندو، جنهن ڪري هوا گهٽ مزاحمت جي طرف وهندي، ۽ هڪجهڙي هوا جو وهڪرو حاصل نه ٿيندو. موجوده مشهور ڊيزائن جو طريقو بلند فرش استعمال ڪرڻ آهي. جڏهن بلند فرش جي کولڻ جي شرح 10٪ هوندي، ته ڪمري جي ڪم ڪندڙ اوچائي ۾ هوا جي وهڪري جي رفتار کي برابر ورهائي سگهجي ٿو. ان کان علاوه، فرش جي آلودگي جي ذريعن کي گهٽائڻ لاءِ صفائي جي ڪم تي سخت ڌيان ڏنو وڃي.

5. انڊڪشن رجحان

نام نهاد انڊڪشن رجحان ان رجحان ڏانهن اشارو ڪري ٿو جنهن ۾ هڪجهڙائي جي وهڪري جي مخالف طرف هوا جو وهڪرو پيدا ٿئي ٿو، ۽ ڪمري ۾ پيدا ٿيندڙ مٽي يا ڀرپاسي آلوده علائقي ۾ مٽي کي هوا جي طرف وڌايو ويندو آهي، ته جيئن مٽي چپ کي آلوده ڪري سگهي. هيٺيان ممڪن انڊڪشن رجحان آهن:

(1). انڌي پليٽ

هڪ صاف ڪمري ۾ جنهن ۾ عمودي هڪ طرفي وهڪري هجي، ڀت تي جوڙن جي ڪري، عام طور تي وڏيون انڌيون پليٽون هونديون آهن جيڪي مقامي واپسي جي وهڪري ۾ انتشار پيدا ڪنديون آهن.

(2). بتيون

صاف ڪمري ۾ روشني جي سامان جو وڌيڪ اثر پوندو. جيئن ته فلوروسينٽ ليمپ جي گرمي هوا جي وهڪري کي وڌائڻ جو سبب بڻجندي آهي، فلوروسينٽ ليمپ جي هيٺان ڪو به انتشار وارو علائقو نه هوندو. عام طور تي، صاف ڪمري ۾ ليمپ آنسو جي شڪل ۾ ٺهيل آهن ته جيئن هوا جي وهڪري جي تنظيم تي ليمپ جي اثر کي گهٽائي سگهجي.

(3.) ڀتين جي وچ ۾ خال

جڏهن مختلف صفائي جي سطحن وارن پارٽيشنن جي وچ ۾ يا پارٽيشنن ۽ ڇت جي وچ ۾ خال هوندا آهن، ته گهٽ صفائي جي گهرجن واري علائقي مان مٽي کي اعليٰ صفائي جي گهرجن واري علائقي ۾ منتقل ڪري سگهجي ٿو.

(4). مشين ۽ فرش يا ڀت جي وچ ۾ فاصلو

جيڪڏهن مشين ۽ فرش يا ڀت جي وچ ۾ خال تمام ننڍو آهي، ته اهو ريبائونڊ ٽربولنس جو سبب بڻجندو. تنهن ڪري، سامان ۽ ڀت جي وچ ۾ هڪ خال ڇڏيو ۽ مشين کي مٿي ڪريو ته جيئن مشين کي سڌو سنئون زمين کي ڇهڻ نه ڏنو وڃي.