صاف ڪمري ۾ درجه حرارت ۽ ايئر پريشر ڪنٽرول

ماحولياتي تحفظ تي وڌيڪ ڌيان ڏنو ويندو آهي، خاص طور تي ٿڌ جي موسم سان. صاف ڪمرو انجنيئرنگ ماحولياتي تحفظ جي قدمن مان هڪ آهي. ماحولياتي تحفظ ۾ سٺو ڪم ڪرڻ لاءِ صاف ڪمرو انجنيئرنگ ڪيئن استعمال ڪجي؟ اچو ته صاف ڪمرو انجنيئرنگ ۾ ڪنٽرول بابت ڳالهايون.

صاف ڪمري ۾ درجه حرارت ۽ نمي ڪنٽرول

صاف جڳهن جو گرمي پد ۽ نمي بنيادي طور تي پروسيس جي ضرورتن جي بنياد تي طئي ڪيو ويندو آهي، پر جڏهن پروسيس جي ضرورتن کي پورو ڪندي، انساني آرام کي حساب ۾ رکڻ گهرجي. هوا جي صفائي جي گهرج جي بهتري سان، عمل ۾ گرمي ۽ نمي لاء سخت ضرورتن جو رجحان آهي.

عام اصول جي طور تي، پروسيسنگ جي وڌندڙ سڌائي جي ڪري، درجه حرارت جي وهڪري جي حد لاء گهرجون ننڍا ۽ ننڍا ٿي رهيا آهن. مثال طور، وڏي پيماني تي مربوط سرڪٽ جي پيداوار جي ليٿوگرافي ۽ نمائش جي عمل ۾، ماسڪ مواد طور استعمال ٿيل شيشي ۽ سلکان ويفرز جي وچ ۾ حرارتي توسيع جي کوٽائي ۾ فرق تيزي سان ننڍو ٿيندو پيو وڃي.

100 μm جي قطر سان هڪ سلڪون ويفر 0.24 μm جي لڪير جي توسيع جو سبب بڻائيندو آهي جڏهن درجه حرارت 1 درجا وڌي ٿو. تنهن ڪري، مسلسل گرمي پد ± 0.1 ℃ ضروري آهي، ۽ نمي جي قيمت عام طور تي گهٽ آهي ڇو ته پسڻ کان پوء، پيداوار آلوده ٿي ويندي، خاص طور تي سيمي ڪنڊڪٽر ورڪشاپ ۾ جيڪي سوڊيم کان ڊڄندا آهن. ورڪشاپ جي هن قسم جي 25 ℃ کان وڌيڪ نه هجڻ گهرجي.

گھڻي نمي وڌيڪ مسئلا پيدا ڪري ٿي. جڏهن نسبتي نمي 55 سيڪڙو کان وڌي وڃي ٿي، ته ٿڌي پاڻيءَ جي پائپ جي ڀت تي ڪنڊينسيشن پيدا ٿيندي. جيڪڏهن اهو درست ڊوائيسز يا سرڪٽ ۾ ٿئي ٿي، اهو مختلف حادثن جو سبب بڻجي سگهي ٿو. جڏهن نسبتا نمي 50٪ آهي، اهو زنگ ڪرڻ آسان آهي. ان کان علاوه، جڏهن نمي تمام گهڻي هوندي آهي، ته مٽي سلڪون ويفر جي مٿاڇري تي ڪيميائي طور تي هوا ۾ پاڻي جي انوولز ذريعي سطح تي جذب ڪيو ويندو، جنهن کي هٽائڻ ڏکيو آهي.

نسبتي رطوبت جيتري وڌيڪ هوندي، اوترو ئي مشڪل ان کي هٽائڻ آهي. تنهن هوندي، جڏهن نسبتي نمي 30٪ کان گهٽ آهي، ذرڙا پڻ آساني سان سطح تي جذب ٿي ويندا آهن اليڪٽرروسٽٽيڪڪ قوت جي عمل جي ڪري، ۽ سيمي ڪنڊڪٽر ڊوائيسز جو هڪ وڏو تعداد خراب ٿيڻ جو خطرو آهي. Silicon wafer جي پيداوار لاء بهترين درجه حرارت جي حد 35-45٪ آهي.

هوا جو دٻاءُڪنٽرولصاف ڪمري ۾ 

اڪثر صاف جڳهن لاءِ، ٻاهرين آلودگي کي حملي کان روڪڻ لاءِ، اهو ضروري آهي ته اندروني دٻاءُ (جامد دٻاء) کي خارجي دٻاءُ (جامد دٻاءُ) کان وڌيڪ برقرار رکيو وڃي. دٻاء جي فرق جي سار سنڀال عام طور تي هيٺين اصولن تي عمل ڪرڻ گهرجي:

1. صاف جڳهن ۾ دٻاءُ غير صاف هنڌن کان وڌيڪ هجڻ گهرجي.

2. صفائي جي اعلي سطحن سان جڳهن ۾ دٻاء گهٽ صفائي جي سطحن سان ڀرپاسي واري هنڌن کان وڌيڪ هجڻ گهرجي.

3. صاف ڪمرن جي وچ ۾ دروازا انهن ڪمرن ڏانهن کولڻ گهرجن جن ۾ صفائي جي اعلي سطح هجي.

دٻاء جي فرق جي سار سنڀال تازي هوا جي مقدار تي منحصر آهي، جيڪا هن دٻاء جي فرق جي وچ ۾ خلا مان هوا جي رسي کي معاوضي ڏيڻ جي قابل هوندي. تنهنڪري دٻاء جي فرق جو جسماني مطلب صاف ڪمري ۾ مختلف خالن ذريعي هوا جي وهڪري (يا انفلٽريشن) جي مزاحمت آهي.