صاف ڪمري ۾ گرمي پد ۽ هوا جي دٻاءُ جو ڪنٽرول

ماحولياتي تحفظ تي وڌيڪ ڌيان ڏنو پيو وڃي، خاص طور تي ڌنڌ جي موسم ۾ واڌ سان. صاف ڪمري جي انجنيئرنگ ماحولياتي تحفظ جي قدمن مان هڪ آهي. ماحولياتي تحفظ ۾ سٺو ڪم ڪرڻ لاءِ صاف ڪمري جي انجنيئرنگ کي ڪيئن استعمال ڪجي؟ اچو ته صاف ڪمري جي انجنيئرنگ ۾ ڪنٽرول بابت ڳالهايون.

صاف ڪمري ۾ گرمي ۽ نمي جو ڪنٽرول

صاف جڳهن جي گرمي پد ۽ نمي جو تعين بنيادي طور تي عمل جي گهرجن جي بنياد تي ڪيو ويندو آهي، پر عمل جي گهرجن کي پورو ڪرڻ وقت، انساني آرام کي نظر ۾ رکڻ گهرجي. هوا جي صفائي جي گهرجن جي بهتري سان، عمل ۾ گرمي پد ۽ نمي جي سخت گهرجن جو رجحان آهي.

هڪ عام اصول جي طور تي، پروسيسنگ جي وڌندڙ درستگي جي ڪري، گرمي پد جي اتار چڙهڻ جي حد جون گهرجون ننڍيون ۽ ننڍيون ٿينديون پيون وڃن. مثال طور، وڏي پيماني تي انٽيگريٽڊ سرڪٽ جي پيداوار جي ليٿوگرافي ۽ نمائش جي عمل ۾، ماسڪ مواد جي طور تي استعمال ٿيندڙ شيشي ۽ سلڪون ويفرز جي وچ ۾ حرارتي توسيع جي کوٽائي ۾ فرق تيزي سان ننڍو ٿيندو پيو وڃي.

100 μm جي قطر سان هڪ سلڪون ويفر 0.24 μm جي لڪير واري واڌ جو سبب بڻجندو آهي جڏهن گرمي پد 1 درجا وڌي ويندو آهي. تنهن ڪري، ± 0.1 ℃ جو مسلسل گرمي پد ضروري آهي، ۽ نمي جي قيمت عام طور تي گهٽ هوندي آهي ڇاڪاڻ ته پسڻ کان پوءِ، پيداوار آلوده ٿي ويندي، خاص طور تي سيمي ڪنڊڪٽر ورڪشاپس ۾ جيڪي سوڊيم کان ڊڄن ٿيون. هن قسم جي ورڪشاپ 25 ℃ کان وڌيڪ نه هجڻ گهرجي.

گهڻي نمي وڌيڪ مسئلا پيدا ڪري ٿي. جڏهن نسبتي نمي 55 سيڪڙو کان وڌي ويندي آهي، ته پوءِ ٿڌي پاڻي جي پائپ جي ڀت تي ڪنڊينسيشن ٺهي ويندي آهي. جيڪڏهن اهو درست ڊوائيسز يا سرڪٽ ۾ ٿئي ٿو، ته اهو مختلف حادثن جو سبب بڻجي سگهي ٿو. جڏهن نسبتي نمي 50 سيڪڙو هوندي آهي، ته ان کي زنگ لڳڻ آسان هوندو آهي. ان کان علاوه، جڏهن نمي تمام گهڻي هوندي آهي، ته سلڪون ويفر جي مٿاڇري تي لڳل مٽي ڪيميائي طور تي هوا ۾ پاڻي جي ماليڪيولن ذريعي مٿاڇري تي جذب ٿي ويندي آهي، جنهن کي هٽائڻ ڏکيو هوندو آهي.

نسبتي نمي جيتري وڌيڪ هوندي، اوترو ئي چپکڻ کي ختم ڪرڻ ڏکيو هوندو آهي. جڏهن ته، جڏهن نسبتي نمي 30٪ کان گهٽ هوندي آهي، ته اليڪٽرو اسٽيٽڪ قوت جي عمل جي ڪري ذرڙا پڻ آساني سان مٿاڇري تي جذب ٿي ويندا آهن، ۽ وڏي تعداد ۾ سيمي ڪنڊڪٽر ڊوائيسز ٽٽڻ جو شڪار هوندا آهن. سلڪون ويفر جي پيداوار لاءِ بهترين درجه حرارت جي حد 35-45٪ آهي.

هوا جو دٻاءُڪنٽرولصاف ڪمري ۾ 

گهڻن صاف جڳهن لاءِ، ٻاهرين آلودگي کي حملي کان روڪڻ لاءِ، اندروني دٻاءُ (جامد دٻاءُ) کي ٻاهرين دٻاءُ (جامد دٻاءُ) کان وڌيڪ برقرار رکڻ ضروري آهي. دٻاءُ جي فرق جي سار سنڀال عام طور تي هيٺين اصولن جي تعميل ڪرڻ گهرجي:

1. صاف جڳهن ۾ دٻاءُ غير صاف جڳهن کان وڌيڪ هجڻ گهرجي.

2. صفائي جي اعليٰ سطح وارن هنڌن تي دٻاءُ گهٽ صفائي جي سطح وارن ڀرپاسي وارن هنڌن کان وڌيڪ هجڻ گهرجي.

3. صاف ڪمرن جي وچ ۾ دروازا اعليٰ صفائي جي سطح وارن ڪمرن ڏانهن کولڻ گهرجن.

دٻاءُ جي فرق جي سار سنڀال تازي هوا جي مقدار تي منحصر آهي، جيڪا هن دٻاءُ جي فرق هيٺان خلا مان هوا جي رساو جي تلافي ڪرڻ جي قابل هجڻ گهرجي. تنهن ڪري دٻاءُ جي فرق جو جسماني مطلب صاف ڪمري ۾ مختلف خلا مان رساو (يا انفلٽريشن) هوا جي وهڪري جي مزاحمت آهي.